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半導体ウエハ計測向けカメラ
Adimecは光学検査・計測システム向けのマシンビジョンカメラを設計することで、システムのスループット、検出能力の向上に貢献します。緊密なパートナーシップを通し、採用される計測方法に合わせ、ＣＣＤカメラの最高のクオリティを引き出したり、CMOSカメラのスピード限界を上げるなど、お客様の技術革新の支援をするためにハイエンドビジョン製品の肌理の細い調整をします。当社のカメラは三次元干渉法や三次元位相シフト法のような三次元計測アルゴリズムで採用されています。
ビジョンシステムでの僅かな変動がウエハ製造の生産量に直接影響を与えるために、当社の高信頼性カメラは時間や温度に左右されず高い再現性を実現させます。
半導体計測・検査装置向けカメラ
当社のマシンビジョンカメラはウエハ検査・計測装置の予想通りの安定した稼動を確実なものにします。
微小な特徴を検出しウエハのスループットを向上させる
Faster, Better, Cheaper が当社の絶え間のない向上目標です。
生産性を向上させる
信頼性の高い、時間や温度に左右されず高い再現性を実現するカメラ。
信頼できる安定した性能で生産量を向上させる
Adimecカメラの精度と実証されたクオリティの鍵は、センサ実装と調節の工程で細心の注意が払われていることです。更に、全てのカメラが一貫した品質であることを確保するために機械的、電気的調整が行われる工程で、それぞれのカメラは厳密な個別のアッセンブリとテストプロセスを経ます。
一貫した性能のカメラは計測のばらつきを減らしプロセス変動の測定に役立ちます。それにより修正措置を取るための根本原因解析をしながらプロセスの偏差を減らします。
推奨製品
QUARTZ シリーズ
グローバルシャッターCMOS
- 素子サイズ 5.5 um
- 2M at 340 fps
- 4M 最高 180 fps
- 12M 最高 187 fps
- Camera Link, CoaXPress
- 80 x 80 x 29 mm
OPAL シリーズ
CCD
- 素子サイズ 5.5 um
- 1M at 120 fps から 8M at 16 fps
- Camera Link (Base), GigE, CoaXPress
- 52.5 x 52.5 x 78 mm
Qs シリーズ
グローバルシャッターCMOS
- 素子サイズ 5.5 um
- 2M ＠ 120 fps から 4M at 60 fps
- Camera Link (Base)
- 52.5 x 52.5 x 78 mm
A-1000 シリーズ
CCD
- 素子サイズ 7.4 um
- 1M ＠ 50 fps – 4Mpx ＠ 16 fps
- Camera Link (Base)
- 45 x 45 x 81 mm (A-1000)
- 52.5 x 52.5 x 79.4 mm